该助剂由下列原料(质量份)制成,硅烷偶联剂KH-570 ( 2. 5 )、抗氧化剂1035 (1.5)、植酸(1.5)、吗琳(3.5).甲基丙烯酸一2-经基乙酷(3.5)、乙醇(14);制备方法是将硅烷偶联剂、植酸、乙醇混合,加热至65℃,搅拌25inin后,再加入其余组分,升温至84℃,搅拌34min,即得。
将除助剂外的各组分加入去离子水中,在1100r/min的搅拌下,加热到65℃,搅拌至溶解,再加入助剂,继续搅拌18tnin,即成。
性质与用途:本产品对有机物、金属离子、颗粒等有快速的清除能力,对硅片无腐蚀;损耗更少,降低成本,节约时间,从而大地降低了硅片废品率,有利于更快地制造出数量更多、质量更好的硅片。本剂的助剂能够在硅片表面形成保护膜,隔绝空气,防止大气中水及其他分子腐蚀硅片,抗氧化,方便下一步制作工艺进行。
将除助剂外的各组分加入去离子水中,在1100r/min的搅拌下,加热到65℃,搅拌至溶解,再加入助剂,继续搅拌18tnin,即成。
性质与用途:本产品对有机物、金属离子、颗粒等有快速的清除能力,对硅片无腐蚀;损耗更少,降低成本,节约时间,从而大地降低了硅片废品率,有利于更快地制造出数量更多、质量更好的硅片。本剂的助剂能够在硅片表面形成保护膜,隔绝空气,防止大气中水及其他分子腐蚀硅片,抗氧化,方便下一步制作工艺进行。